High-frequency carrier type magnetic sensor, manufacturing method thereof, and method for applying its magnetic bias

高周波キャリア型磁気センサ、及びその製造方法、及びその磁気バイアス印加方法

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a high-frequency carrier type magnetic sensor of reduced current consumption where a bias spiral coil is easily manufactured while the impact at wire bonding is reduced. SOLUTION: The high-frequency carrier type magnetic sensor, utilizing a fact that the impedance of a soft magnetic body changes, comprises a magnetic sensor part and a signal processing circuit part. Related to the magnetic sensor part, the soft magnetic body is slender core shape, which is combined with a non-magnetic body to constitute an impedance bridge. The signal processing circuit converts an impedance change at the magnetic sensor part into a voltage fluctuation for outputting. A soft magnetic piece where a soft magnetic body core 1 of the magnetic sensor part and a non-magnetic piece 2 are made into meander is used to raise impedance on the input side of the magnetic sensor part, thus reducing power consumption.
(57)【要約】 【課題】 バイアス用の渦巻きコイルを容易に作製で き、ワイヤーボンディング時の衝撃を軽減し、かつ消費 電流を削減した高周波キャリア型磁気センサを得る。 【解決手段】 軟磁性体のインピーダンスが変化する原 理を利用した高周波キャリア型磁気センサにおいて、前 記高周波キャリア型磁気センサは、磁気センサ部と信号 処理回路部とで構成されており、前記磁気センサ部の構 造を、軟磁性体を細長いコア状にし、それと非磁性体と を組み合わせてインピーダンスブリッジを構成し、前記 信号処理回路は、前記磁気センサ部のインピーダンス変 化を、電圧変動に変換して出力し、前記磁気センサ部の 軟磁性体コア1及び非磁性体片2を、つづら折り構造に した軟磁性体片を用いて、前記磁気センサ部の入力側の インピーダンスを高め、消費電流を削減したことを特徴 とする高周波キャリア型磁気センサ。

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